化学抛光生产商-昆山韩铝(在线咨询)-嘉兴化学抛光
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半导体行业CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,漂白剂,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,嘉兴化学抛光,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。
这两个概念主要出半导体加工过程中,的半导体基片(衬底片)抛光沿用机械抛光、例如氧化镁、氧化锆抛光等,但是得到的晶片表面损伤是极其严重的。直到60年代末,一种新的抛光技术——化学机械抛光技术(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了旧的方法。CMP技术综合了化学和机械抛光的优势:单纯的化学抛光,化学抛光生产商,抛光速率较快,表面光洁度高,损伤低,平整性好,化学抛光哪家好,但表面平整度和平行度差,抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好,表面平整度高,但表面光洁度差,损伤层深。化学机械抛光可以获得较为平整的表面,又可以得到较高的抛光速率,得到的平整度比其他方法高两个数量级,是能够实现全局平面化的有效方法。
优点化学抛光的优点是化学抛光设备简单,不需要什么特殊设备,只需要一个盛抛光液的玻璃杯和夹持试样的夹子就可以了。如果用细薄磨料片切割的试样,切割后不需要砂纸磨光,即可直接抛光。有些非导体材料也可以用化学抛光,非导体嵌镶的试样也可以直接抛光。化学抛光也可以处理形状比较复杂的零件
缺点1、化学抛光的质量不如电解抛光。2、化学抛光所用溶液的调整和再生比较困难,在应用上受到限制。3、化学抛光操作过程中,散发出大量黄棕色有害气体,对环境污染非常严重。4、抛光溶液的使用寿命短,溶液浓度的调节和再生比较困难
化学抛光生产商-昆山韩铝(在线咨询)-嘉兴化学抛光由昆山市韩铝化学表面材料有限公司提供。昆山市韩铝化学表面材料有限公司为客户提供“化工原料及产品,五金材料,化学试剂”等业务,公司拥有“化工原料及产品,五金材料,化学试剂”等品牌,专注于化学试剂等行业。,在昆山市千灯镇石浦卫泾大街51号的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:王总。