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半导体行业CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,化学抛光,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。
1、本抛光液在其使用初期会产生泡沫,因此抛光液液面与抛光槽顶部之间的距离不应≥15cm;2、 不锈钢工件在进入抛光槽之前应尽可能将残留在工件表面的水分除去,因工件夹带过多水分有可能造成抛光面出现麻点,局部浸蚀而导致工件报废;3、在电解抛光过程中,作为阳极的不锈钢配件,因其所含的铁、铬元素不断转变为金属离子溶入抛光液内而不在阴极表面沉积。随着化学反应的进行,金属离子浓度会不断增加,化学抛光哪家好,当达到一定浓度后,这些金属离子以磷酸盐和硫酸盐形式从抛光液内沉淀析出,沉降于抛光槽底部。因此抛光液必须定期过滤,去除这些固体沉淀物;4、在抛光槽反应过程中,除磷酸、硫酸不断消耗外,水分因蒸发和电解而损失,化学抛光厂家,此外,高粘度抛光液不断被工件夹带损失,抛光液液面不断下降,需经常往抛光槽补加抛光液和水;5、本产品中和后排放符合当今环保要求
铝及铝合金的化学抛光。为获得光亮的表面,必须严格控制抛光液xiao酸的含量。xiao酸含量过低,抛光速度慢且抛光后表面光泽性差;xiao酸含量过高,容易发生鳞状腐蚀。lin酸浓度低时,不能获得光亮的表面,为了防止溶液被稀释,抛光前的零件表面应干燥。醋酸和liu酸可以抑制点状腐蚀,化学抛光生产商,使抛光表面均匀、细致。liu酸铵和尿素可以减少氧化氮的析出,并有助于改善抛光质量。少量的铜离子可以防止过腐蚀,从而提高抛光表面的均匀性,但含量过高又会降低抛光表面的反光能力。铬酐可以提高铝锌铜合金的抛光质量,含锌、铜丝高的强度铝合金在不含铬酐的抛光液中,难以获得光亮的表面。
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